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高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台

何鋆 杨晶 苗光辉 张娜 崔万照

何鋆, 杨晶, 苗光辉, 张娜, 崔万照. 高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台[J]. 仁和测试. doi: 10.11884/HPLPB202032.190318
引用本文: 何鋆, 杨晶, 苗光辉, 张娜, 崔万照. 高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台[J]. 仁和测试. doi: 10.11884/HPLPB202032.190318
Yun He, Jing Yang, Guanghui Miao, Na Zhang, Wanzhao Cui. High-performance multifunctional apparatus for studying secondary electron emission characteristics of dielectric[J]. Rhhz Test. doi: 10.11884/HPLPB202032.190318
Citation: Yun He, Jing Yang, Guanghui Miao, Na Zhang, Wanzhao Cui. High-performance multifunctional apparatus for studying secondary electron emission characteristics of dielectric[J]. Rhhz Test. doi: 10.11884/HPLPB202032.190318

高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台

doi: 10.11884/HPLPB202032.190318
基金项目: 国家自然科学基金项目和空间微波技术重点实验室基金项目(U1537211,6142411191104,6142411191103,6142411181105,61701394)
详细信息
    作者简介:

    何鋆:何 鋆(1987—),男,博士,从事微波无源器件特殊效应研究;hawkinsky@163.com

    通讯作者:

    崔万照(1975—),男,博士,研究员,从事空间大功率微波特殊效应研究; cuiwanzhao@126.com

  • 中图分类号: O462.2

High-performance multifunctional apparatus for studying secondary electron emission characteristics of dielectric

  • 摘要: 介绍了一套高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台和介质材料二次电子产额脉冲测量方法。该平台配备有三层栅网结构的收集器和30 eV~30 keV宽能量范围的电子枪,可在10−8 Pa超高真空下测量介质材料的二次电子发射特性,并具备XPS能谱分析、加热和氩离子溅射清洗原位处理分析功能。给出了测得的金和氧化铝材料的二次电子电流脉冲,通过判断电流脉冲波形随时间以及照射次数的变化,获得了介质材料带电饱和时间及材料厚度对带电量的影响。
  • 图  1  介质材料二次电子发射特性研究平台结构示意图

    Figure  1.  Schematic diagram of the apparatus

    图  2  半球形栅网加收集极结构示意图

    Figure  2.  Schematic diagram of the collector

    图  3  二次电子电流脉冲测试示意图

    Figure  3.  Schematic diagram of measuring the pulse of secondary electrons

    图  4  测量到金和Al2O3样品的二次电子电流脉冲

    Figure  4.  Measured pulses of secondary electron current

    图  5  不同脉冲电子束照射下的氧化铝样品二次电子电流脉冲

    Figure  5.  Measured pulses of secondary electron current of Al2O3 sample

    图  6  不同厚度氧化铝样品的二次电子电流脉冲

    Figure  6.  The measured pulses of secondary electron current of Al2O3 sample with different thickness

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出版历程
  • 收稿日期:  2019-08-27
  • 修回日期:  2019-12-03

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